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Wirtschaft & Industrie
Arradiance gibt Verkaufsstart von ALD/CVD-Benchtop-Kombinationssystem bekannt
© Business Wire 2012
(PR-inside.com 28.11.2012 00:49:30)
Wie Arradiance Inc. heute mitteilte, hat das Unternehmen den Auftrag für das branchenweit erste ALD/CVD-Benchtop-Kombinationstool für anspruchsvolle Forschungsanwendungen im Bereich der Metallabscheidung erhalten. Die Funktionen des neuen Systems minimieren die Kontamination und maximieren die Steuerbarkeit des Verfahrens. Das neue GEMStar System, das mit seinen acht Vorstufen Substrate bis 200 mm verarbeiten kann, erreicht Prozesstemperaturen von bis zu 400 °C im gepulsten oder kontinuierlichen Fließbetrieb und
erlaubt die Produktion von besonders hochwertigen Metallfolien, die für Forschungsanwendungen geeignet sind.
„Dieses einzigartige GEMStar-8 System kombiniert die Steuerbarkeit der Atomlagenabscheidung (ALD) mit der Geschwindigkeit und Vielseitigkeit von CVD in Form einer kompakten Benchtop-Einheit für die Materialentwicklung bei kontrollierter Temperatur (400 °C) und innerhalb einer Gasverarbeitungsumgebung“, so David Beaulieu, Chief Operating Officer, Arradiance. „Das Metallabscheidungsverfahren ist speziell für Märkte wie Halbleiter und alternative Energiequellen bedeutend. In diesen Bereichen kann die Materialforschung den Weg zu einer kostengünstigeren und reichhaltigeren Energieversorgung der Zukunft ebnen.“
Seit der Markteinführung im Jahr 2009 ist GEMStar zum bevorzugten Labortool anspruchsvoller Forscher geworden, die ALD-Qualität zu erschwinglichen Preisen benötigen. Das System wurde von mehreren führenden US-amerikanischen und internationalen Forschungseinrichtungen rund um den Globus implementiert.
„Unsere einzigartige Erfahrung und richtungweisende Arbeit mit unseren patentierten ALD-aktivierten, großflächigen Mikrokanalplatten sowie unsere Kompetenz in Materialforschung, Anlagentechnik und Produktentwicklung haben zu diesem robusten ALD-System für Forscher und Ingenieure beigetragen, die herausragende Ergebnisse erzielen wollen“, berichtet Ken Stenton. „Vor dem Hintergrund der Nachfrage nach einem breiteren Spektrum von Materialien, die mithilfe des Atomlagenabscheidungsverfahrens hergestellt werden können, haben wir den Bedarf an einem Forschungstool mit exzellenten Folieneigenschaften und hoher Zuverlässigkeit erkannt, dessen geringe Kosten und Abmessungen den Einsatz in Forschungsumgebungen erlauben. Wir sind zuversichtlich, dass GEMStar-8 die Kundenerwartungen übertreffen wird.“
In der Halbleiterindustrie wächst die Nachfrage nach einer anspruchsvollen, präzise steuerbaren Metallabscheidung in Strukturen mit größeren Querschnittsverhältnissen, die kleinere Geometrien künftiger Chipgenerationen ermöglichen.
Über Arradiance
Arradiance ermöglicht eine stärkere Wahrnehmung der verborgenen Dinge in unserer Umgebung. Seine funktionellen Folientechnologien verbessern die Leistung von Bildgebungsverfahren und Erkennungssystemen und ermöglichen technologische Fortschritte, die zuvor unerreichbar waren.
Die zugrunde liegenden Prozesse erschließen eine neue Welt flexibler, robuster elektrooptischer Geräte, die unsere Sicht auf die Welt verändern werden.
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